crGO基FET传感器器件的纳米制造步骤包括电子束光刻法沉积电极、河南会郑慧用使用电子束光刻法在电极上沉积SiO2保护层、河南会郑慧用3nm原子层沉积（ALD）衍生的Al2O3作为顶层栅氧化物、溅射Au纳米颗粒（NPs）作为探针的锚定位点，以及探针的功能化。

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